レーザーを利用した丸棒用真円度検査装置の開発

10年程前に、透過式変位計を用いて丸棒の真円度を自動測定する装置を開発したが、希望精度１μｍが実現できず、最適条件での精度は３μｍが限界であった。今回は反射式を用いた丸棒用高精度変位計を開発し、丸棒が左右に振れても、その頂点の計測ができ、振動、油付着、周辺ノイズに強く、真円度計算の精度が１μm以下となるような真円度検査装置を構築したい

レーザー光の反射に基づいて、加工ライン上の振動や偏心が想定される状況においてマイクロメートルオーダーかつキロヘルツオーダーの変位検出を実現するために、投光系においてはレーザースリット光、受光系においてはフライアイレンズとフォトダイオードアレイ、ソフトウェアには機械学習に分類される線形回帰、をそれぞれ用いることによって、従来にない新しい反射型変位計による真円度検査装置の試作機を開発し、加工ライン上の丸棒の真円度を計算によって求めることができた

センターレスグラインダー加工ライン（工業部品製造分野）へ導入する丸棒用真円度検査装置の製品化

レーザー光（スリット光）、フォトダイオードアレイ、光学設計シミュレーション