＜テーマ＞
リアルタイム測定のための超高速偏光計測法開発

＜プロジェクト実施期間＞
2024年10月～2025年4月

＜プロジェクト内容＞
光学特性の均一性が求められる薄膜製品などの内部応力を含めたインライン欠陥検出、大面積ウエハーのスクリーニングなどを可能にする超高速偏光計測法のための光学系構築と多波長測定に対応する偏光解析法の開発

【申請企業】  ユニオプト株式会社
【研究機関】　宇都宮大学
【金融機関】  遠州信用金庫

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